Z轴最大加速度：450mm／s²
Z轴精确度：3.0+L／100μm
仪器外观尺寸：1100mm×1200mm×1650mm
操作环境温度：20℃±2.0℃
X,Y轴精确度：2.8+L／200μm
X,Y轴最大加速度：1000／s²
工作台承重：100kg
净重：900kg
光栅尺分辨率：0.1μm
输入电压：93-264 VAC
放大倍率：15x -540x to 30x -1080x
测量范围：400mm×500mm×250mmN
变焦镜头（光学，数位）：36x（12x，3x）
加工定制：否
可售卖地：北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆